Miguel Angel Gosalvez

Viittaukset

	Kaikki	2017 lähtien
Sitaatit	1862	721
h-indeksi	24	16
i10-indeksi	46	27

220

110

165

2002200320042005200620072008200920102011201220132014201520162017201820192020202120226 13 13 11 16 44 107 86 83 124 120 128 120 130 117 206 118 82 161 122 32

Yleisessä käytössä

Näytä kaikki

15 artikkelia

17 artikkelia

käytettävissä

ei käytettävissä

Perustuu rahoitusehtoihin

Muut kirjoittajat

Dr. Prem PalProfessor, Dept. of Physics, IIT Hyderabad, IndiaVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa iith.ac.in
Risto NieminenAalto UniversityVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa aalto.fi
Adam S. FosterAalto UniversityVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa aalto.fi
Yuan LiSchool of Mechanical Engineering, Southeast UniversityVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa seu.edu.cn
Rafael Gadea GironésProfesor de Electrónica, Universidad Politécnica de ValenciaVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa eln.upv.es
Joseba Alberdi-RodriguezEuskal Herriko Unibertsitatea UPV/EHUVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa ehu.es
Kevin M. McPeakAssociate Professor of Chemical Engineering, Louisiana State UniversityVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa lsu.edu
Mikhail OtrokovIkerbasque Research Fellow, IKERBASQUE, Basque Foundation for ScienceVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa ehu.eus
Carles MontoliuPhD Student, Universitat Politècnica de ValènciaVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa upv.es
Makio UwahaNagoya University, Aichi Institute of TechnologyVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa nagoya-u.jp
David J. NorrisETH ZurichVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa ethz.ch
Sven BurgerZuse Institute Berlin / JCMwaveVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa zib.de
Christian Dennis van EngersPost-Doc, John Hopkins UniversityVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa jhu.edu
Ayaskanta SahuNew York UniversityVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa nyu.edu
Hiroaki Amakawa (雨川洋章)Hitachi Ltd.Vahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa hitachi.com
Juerg LeutholdInstitute of Electromagnetic Fields (IEF), ETH Zurich, Zurich, SwitzerlandVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa ethz.ch
Jong-Bae ParkProfessor of Electrical Engineering Dept., Konkuk UniversityVahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa konkuk.ac.kr
Hirotaka HidaAssociate Professor, Kobe University, Japan
Andres AyuelaSenior Research Scientist, Centro de Física de Materiales-MPC CSIC-UPV/EHU, Donostia International

Seuraa

Miguel Angel Gosalvez

Ramón y Cajal Researcher, University of the Basque Country UPV/EHU

Vahvistettu sähköpostiosoite verkkotunnuksessa ehu.es - Kotisivu

Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)anisotropic etching Kinetic Monte Carlo Cellular Automata Level Set


Nimike Lajittele sitaattien mukaan Lajittele vuoden mukaan Lajittele otsikon mukaan	Viittaukset Viittaukset	Vuosi
Surface morphology during anisotropic wet chemical etching of crystalline silicon MA Gosálvez, RM Nieminen New Journal of Physics 5 (1), 100, 2003	134	2003
An atomistic introduction to anisotropic etching MA Gosálvez, K Sato, AS Foster, RM Nieminen, H Tanaka Journal of Micromechanics and Microengineering 17 (4), S1, 2007	129	2007
Improvement in smoothness of anisotropically etched silicon surfaces: effects of surfactant and TMAH concentrations D Cheng, MA Gosálvez, T Hori, K Sato, M Shikida Sensors and Actuators A: Physical 125 (2), 415-421, 2006	81	2006
Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH P Pal, K Sato, M Shikida, MA Gosálvez Sensors and actuators A: Physical 154 (2), 192-203, 2009	79	2009
Orientation-and concentration-dependent surfactant adsorption on silicon in aqueous alkaline solutions: explaining the changes in the etch rate, roughness and undercutting for … MA Gosalvez, B Tang, P Pal, K Sato, Y Kimura, K Ishibashi Journal of Micromechanics and Microengineering 19 (12), 125011, 2009	73	2009
Anisotropic wet chemical etching of crystalline silicon: atomistic Monte-Carlo simulations and experiments MA Gosalvez, RM Nieminen, P Kilpinen, E Haimi, V Lindroos Applied surface science 178 (1-4), 7-26, 2001	71	2001
Study of rounded concave and sharp edge convex corners undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants P Pal, K Sato, MA Gosalvez, M Shikida Journal of Micromechanics and Microengineering 17 (11), 2299, 2007	70	2007
Complex chiral colloids and surfaces via high-index off-cut silicon KM McPeak, CD Van Engers, M Blome, JH Park, S Burger, MA Gosalvez, ... Nano letters 14 (5), 2934-2940, 2014	67	2014
Surfactant Adsorption on Single-Crystal Silicon Surfaces in TMAH Solution: Orientation-Dependent Adsorption Detected by In Situ Infrared Spectroscopy P Pal, K Sato, MA Gosalvez, Y Kimura, KI Ishibashi, M Niwano, H Hida, ... Journal of microelectromechanical systems 18 (6), 1345-1356, 2009	64	2009
Analytical solution of the continuous cellular automaton for anisotropic etching MA Gosálvez, Y Xing, K Sato Journal of microelectromechanical systems 17 (2), 410-431, 2008	53	2008
Atomistic simulations of surface coverage effects in anisotropic wet chemical etching of crystalline silicon MA Gosálvez, AS Foster, RM Nieminen Applied Surface Science 202 (3-4), 160-182, 2002	53	2002
Atomistic methods for the simulation of evolving surfaces MA Gosálvez, Y Xing, K Sato, RM Nieminen Journal of Micromechanics and Microengineering 18 (5), 055029, 2008	49	2008
Octree-based, GPU implementation of a continuous cellular automaton for the simulation of complex, evolving surfaces N Ferrando, MA Gosalvez, J Cerdá, R Gadea, K Sato Computer Physics Communications 182 (3), 628-640, 2011	48	2011
Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si {1 1 0} and Si {1 0 0} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH B Tang, P Pal, MA Gosalvez, M Shikida, K Sato, H Amakawa, S Itoh Sensors and Actuators A: Physical 156 (2), 334-341, 2009	48	2009
Step flow-based cellular automaton for the simulation of anisotropic etching of complex MEMS structures Y Xing, MA Gosalvez, K Sato New Journal of Physics 9 (12), 436, 2007	45	2007
Experimental procurement of the complete 3D etch rate distribution of Si in anisotropic etchants based on vertically micromachined wagon wheel samples MA Gosalvez, P Pal, N Ferrando, H Hida, K Sato Journal of micromechanics and microengineering 21 (12), 125007, 2011	42	2011
Experimental procurement of the complete 3D etch rate distribution of Si in anisotropic etchants based on vertically micromachined wagon wheel samples MA Gosalvez, P Pal, N Ferrando, H Hida, K Sato Journal of micromechanics and microengineering 21 (12), 125007, 2011	42	2011
Reliability assessment of the complete 3D etch rate distribution of Si in anisotropic etchants based on vertically micromachined wagon wheel samples KS M. A. Gosálvez, Prem Pal, N. Ferrando J. Micromech. Microeng. 21 21, 125008, 2011	42*	2011
Fabrication of novel microstructures based on orientation-dependent adsorption of surfactant molecules in a TMAH solution P Pal, K Sato, MA Gosalvez, B Tang, H Hida, M Shikida Journal of Micromechanics and Microengineering 21 (1), 015008, 2010	40	2010
Wet etching of silicon, Ch. 24 MA Gosálvez, I Zubel, E Viinikka Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 375-407, 2010	40*	2010

Järjestelmä ei voi suorittaa toimenpidettä nyt. Yritä myöhemmin uudelleen.

Artikkelit 1–20

Sitaatteja vuodessa

Päällekkäiset lähteet

Yhdistetyt sitaatit

Lisää muut kirjoittajatMuut kirjoittajat

Seuraa tätä tekijää

Viittaukset

Muut kirjoittajat